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微機電系統和微結構及其在航天中的應用
共16章，主要內容包括：概論，微機電系統技術在航天任務中的應用前景，MEMS加工技術，空間環境因素對MEMS技術的影響，空間輻射影響和微機電系統，MEMS技術在空間系統的應用，微加工技術在科學儀器方面... more |
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