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集成電路製造工藝與模擬
本書內容涵蓋集成電路製造工藝及模擬仿真知識。詳細介紹了集成電路的發展史及產業發展趨勢、集成電路製造工藝流程及模擬仿真基礎、集成電路製造的材料及相關環境、晶圓的製備與加工；具體講解了氧化、淀積、金屬化、... more |
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