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微電子製造科學原理與工程技術(第四版)
本書對微納製造技術的各個領域都給出了一個全面透徹的介紹，覆蓋了集成電路製造所涉及的所有基本單項工藝，包括光刻、等離子體和反應離子刻蝕、離子注入、擴散、氧化、蒸發、氣相外延生長、濺射和化學氣相澱積等。對... more |
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本書對微納製造技術的各個領域都給出了一個全面透徹的介紹，覆蓋了集成電路製造所涉及的所有基本單項工藝，包括光刻、等離子體和反應離子刻蝕、離子注入、擴散、氧化、蒸發、氣相外延生長、濺射和化學氣相澱積等。對... more |
