護國神山台積電，如何建立超高技術城牆 台灣半導體遙遙領先全球的主要原因 從原理了解晶圓產業的極重要知識 光刻是積體電路製造的核心技術，光刻製程成本已經超出積體電路製造總成本的三分之一。全書內容充滿先進技術積體電路製造的實際情況，涵蓋...... more

光刻是積體電路製造的核心技術，光刻工藝成本已經超出積體電路製造總成本的三分之一。在積體電路製造的諸多工藝單元中，只有光刻工藝可以在矽片上產生圖形，從而完成器件和電路三維結構的製造。 計算光刻被公認為是一種可以進一步提高光刻成像品質和工藝...... more

光刻技術是所有微納器件製造的核心技術。特別是在積體電路製造中，正是由於光刻技術的不斷提高才使得摩爾定律(器件集成度每兩年左右翻一番)得以繼續。《超大型積體電路先進光刻理論與應用》覆蓋現代光刻技術的主要方面，包括設備、材料、模擬(計算光刻...... more